サファイアウエハの研磨およびラッピング用GCパウダー

サファイアウエハの研磨およびラッピング用GCパウダー

サファイアウェーハ研磨の分野では、一般的に使用されている研磨材は炭化ホウ素です。しかし、炭化ホウ素は価格が高く、迅速な除去が必要な状況では、GCパウダー(グリーンシリコンカーバイドパウダー)でも所望の研磨効果が得られます。

GC パウダーには次のような利点があります。

1. 硬度と耐摩耗性が高い。

グリーン SiC は、硬度が極めて高い材料です。ダイヤモンドや立方晶窒化ホウ素などの超硬質材料には及びませんが、炭化ホウ素とはまったく同等です。この高い硬度により、研削工程でサファイア結晶を効果的に切断でき、摩耗が軽減され、研削効率が向上します。

2. 化学的安定性が良好。

GC研磨粉末は、研削工程中の化学的安定性に優れ、サファイア結晶やその他の研削媒体と反応しにくいため、研削工程の安定性と最終製品の品質が保証されます。

3. 高い熱伝導性。

GC 研磨粉末は熱伝導率が高く、研削工程で発生した熱を素早く放散できるため、サファイア結晶への熱応力による損傷が軽減され、結晶の完全性と光学特性が維持されます。

4. 粒子サイズが均一。

GC 研磨粉末は、均一な粒度分布を実現するために微細加工が施されており、より均一で精密な研磨効果を実現し、サファイア結晶表面の滑らかさと一貫性を保証します。

5. コスト効率。

GC粉末の価格は炭化ホウ素よりも低いため、粗研磨工程のコストを抑え、効率を向上させることができます。

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