PZT材料を研磨するためのグリーン炭化ケイ素ミクロン

グリーン炭化ケイ素ミクロンは、高硬度、高機械的強度を備えた一種の非金属研磨剤です。それは積極的な粉砕を行うことができます。グリーン炭化ケイ素は、PZT（圧電セラミック）材料の研削に大きな利点があります。

PZTは、機械的エネルギーと電気的エネルギーを相互に変換する機能性セラミック材料です。それらは、光学、半導体、機器、およびその他の分野で広く使用されています。しかし、セラミックはもろく、圧電性で処理するのは困難です。PTZセラミックの後の表面処理段階では、両面研磨機を使用してPZTウェーハを研磨および研磨します。一般に、段階的な粗面化や研削などのPZTの表面処理は、50ミクロン、40ミクロン、20ミクロン、および14ミクロンの緑色の炭化ケイ素を使用して実行されます。。粗面化後、ウェーハ表面は傷がなく均一になり、粗さは1.2〜1.5umに達する可能性があります。微研磨と微粉砕の段階では、14ミクロン、7ミクロン、5ミクロンの白いコランダム粉末が微粉砕用に選択されます。研磨後の製品の粗さは50nm未満です。

スクラッチなしで研磨の研削効果を達成するために、グリーン炭化ケイ素研磨剤の粒子サイズを厳密に制御する必要があります。この場合、粒子サイズは可能な限り同じで、粒子サイズの範囲は狭くする必要があります。大きな粒子があると、セラミック表面が損傷しやすくなります。微粒子が多いと粉砕効率が低下します。したがって、水洗オーバーフローによって等級分けされた緑色の炭化ケイ素粉末が適切な研磨剤です。