ソーラーシリコンウェーハスライス用炭化ケイ素グリーン64C M14
太陽光発電用シリコン ウェーハ スライス用の炭化ケイ素 グリーン 64C M14 は、太陽光発電業界で一般的に使用される切断材料です。ウェーハのスライスは、ソーラーシリコンウェーハの製造における重要なプロセスです。炭化ケイ素粉末の品質は、切断速度、シリコンウェーハの表面粗さ、ひいてはシリコンウェーハの歩留まりに直接影響します。
ソーラーシリコンウェーハワイヤー切断に適した炭化ケイ素グリーン 64C パウダーには、次の特徴があります。
1. 高い硬度と切削力。
緑色の炭化ケイ素は、従来の研磨材の中でも高硬度研磨材のリーダーです。モース硬度は9.5、ロックウェル硬度は80HRCと、合成ダイヤモンドに次ぐ硬度を誇ります。ダイヤモンドスライスが徐々に登場してきていますが、緑色炭化ケイ素マイクロパウダーはコストの点で依然として大きな利点を持っています。
2. 良好な高温性能。
炭化ケイ素グリーン M14 は、高温スライス条件下でも物理的および化学的インジケーターにおいて優れた安定性を維持できます。また、高温でも研削能力は影響を受けません。また、緑色炭化ケイ素粉末は熱伝導性が高く、熱伝導率が高い。切削時に発生する熱を切削液や外部に伝え、シリコンウェーハの焼けつきを防ぎます。
3. 粒子の外観特性。
炭化ケイ素緑色M14はJIS1200#、F600に相当します。分離プロセスは水圧分級であり、均一な粒度分布が得られます。粒子の範囲は 2 ～ 20 ミクロンです。スライスの一貫性を向上させるのに役立ちます。したがって、シリコンウェーハの傷を避けることができます。さらに、シリコンウェーハの表面平滑性を向上させるために、緑色炭化ケイ素粉末の粒径は可能な限り均一でなければなりません。
4. 流動性。
緑色炭化ケイ素粉末と切削液は混合して初めて切断用鋼線に付着します。したがって、流動性の良い炭化珪素を切削液中により均一に分散させることができる。そのため、モルタルを鋼線に吹き付けて切断することもスムーズに行えます。スライスプロセスの効率が向上します。
