窒化アルミニウム基板研磨用グリーンSiC 5ミクロン
硬い材料の研磨を検討する場合、グリーン炭化ケイ素は代替材料のリストになければなりません。窒化アルミニウムセラミックは、熱伝導率、耐熱衝撃性、機械的強度、曲げ強度に優れた新しいタイプのセラミックです。硬度は12Gpaに達し、モース硬度は7〜8です。グリーン炭化ケイ素は、モース硬度が6.5〜7で、通常、ヒスイ、水晶、ホウケイ酸ガラス、シリコンウェーハ、光学ガラスなどの材料の研磨に適しています。これは、グリーンSiC 5ミクロンを窒化アルミニウムセラミック基板やセラミック部品の研磨に使用すると、効率的な研磨も実現できることを示しています。